轴径 Shaft diameter	020	025	030	040	050
A	20+0.04+0.02	25+0.04+0.02	30+0.04+0.02	40+0.04+0.02	50+0.04+0.02
B	123.5	126	130.5	141	147.5
C	109.5	112	116.5	125	131.5
D	78	90	96	106	106
E	44	49	54	69	79
F	10	10	10	12	12
φG	20-0.01-0.03	25-0.01-0.03	30-0.01*0.03	40-0.01*0.03	50-0.01*0.03
J	120	145	145	160	185
K	10	10	10	12	12
L	14.5	13	14	12	12.5
N	PD100/4-φ10	120/4-φ10	120/4-φ10	PD185/4-φ12	PD160/8-φ12

型号Model Number	HTL 020 CC	HTL 025 CC	HTL 030 CC	HTL 040 CC	HTL 050 CC
允许传送扭矩 Torgue capactiry[kg.cm]	——
耐真空度 Degree of vacuum pressure Pa[Torr]	10-5[10-7]
允许氦泄漏量 Leakae rate(He)[Pa.m3/sec]	＜10-12
[Torr.l/sec]	＜10-11
耐压差 Pressure cappacity(Static)[kg/cm2]	2.5
使用温度范围 Temperature range[℃]	0～80
使用气体 Gas compatibility	活性气体Reactive
轴承型号 Bearing type	7206CDB	7207CDB	7208CDB	7210CDB	7212CDB
轴承材质 Bearing material	SUJ2
壳体材质 Housing material	SUS303(sus316:option也可选316)
转轴材南 shaft material	SUS630